電子級雙氧水過H2O2氧化氫純化技術

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一種低成本高純雙氧水純化技術，打破國際超凈高純化學品制備技術壟斷，產品符合SEMI標準要求，適合新建項目優化設計、舊項目提標改造。

高純雙氧水是重要半導體用電子化學品之一，雙氧水SEMIC12要求金屬離子濃度≤0.1ppb，非金屬離子濃度≤100ppb，顆?！?.5μm＜25pcs/ml ，主要應用于硅片的氧化、清洗等工藝。除了電子行業外還可用于醫學消毒、食品等行業，用途非常廣泛。

超凈高純電子化學品是超大規模集成電路制造的關鍵集成性原材料，其純度、潔凈度對成品率、電性能、可靠性等有十分重要的影響，目前高純電子化學品生產技術被德、日、美等少數幾個發達國家掌握諸如德國E.Merck、美國Ashlan、Arch、日本Wako等占全球市場份額的90%以上，我國目前生產初級和中級電子化學品為主，高純電子化學品技術非常薄弱。因此超高純電子化學品的研發即技術具有重要的戰略、經濟價值和社會效益。

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